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薄膜沉积设备
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    连续式真空溅镀系统
    德风芯 SUPREME 连续式真空溅镀系统主要应用于 SiP EMI 电磁屏蔽层沉积、Fanout RDL 种子层沉积、NPL 层沉积以及BSM 晶圆背面金属化沉积，适用于高效批量加工大尺寸工件。SUPREME 主要由上下料腔、等离子腔、缓冲腔、溅镀工艺腔等构成，可以根据不同的产品应用需求提供不同腔体设计，沉积的薄膜具有高均匀性、高孔洞 / 侧壁覆盖率、高附着力等性能特征。
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