|
TKP 200A 规格表 |
|
|
检测物尺寸 |
6/8 inch |
|
检测物材质 |
Si/SiC/GaAs/GaN/InP/Glass/Sapphire etc |
|
检测物厚度 |
350~1000μm |
|
检测物翘曲度 |
≦1mm (≦3mm with End Effecter) |
|
宏/微观观察精度 |
Min 150~500μm / 300nm~1μm |
|
外观尺寸 |
2270mm×1810mm×1950mm |
|
卡匣 |
SMIF Port |
|
卡匣承载 |
2 |
