|
TKP 300A 规格表 |
|
|
检测物尺寸 |
8/12 inch |
|
检测物材质 |
Si/SiC/GaAs/GaN/InP/Glass/Sapphire etc |
|
检测物厚度 |
350~1000μm |
|
检测物翘曲度 |
≦1mm (≦3mm with End Effecter) |
|
宏/微观观察精度 |
Min 150~500μm / 300nm~1μm |
|
外观尺寸 |
1800 x 2000 x 2000mm |
|
卡匣 |
8 inch：Open Cassette by info pad 12 inch：FOUP /FOSB Detect |
|
卡匣承载 |
2 |
