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TKP 300F 规格表 |
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检测物尺寸 |
8/12 inch (带膜/带铁框，切割前后 ) |
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检测物材质 |
Si/SiC/GaAs/GaN/InP/Glass/Sapphire etc |
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检测物厚度 |
300μm~1000μm |
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检测物翘曲度 |
≦1mm (≦3mm with End Effecter) |
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宏/微观观察精度 |
Min 150~500μm / 300nm~1μm |
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外观尺寸 |
3200× 1900 × 2200mm |
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卡匣 |
Metal Cassette |
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卡匣承载 |
1~2 |
