可量测各式半导体材料元，可量测产品的高度、尺寸、厚度、平面度、翘曲度、共平面度。
可量测各式半导体材料元，可量测产品的高度、尺寸、厚度、平面度、翘曲度、共平面度。
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TKP-D Series 规格表 |
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检测物尺寸 |
300mm x 300mm |
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检测物材质 |
金属, 塑胶, 透明与半透明物 etc |
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可选择放大倍率 |
21X~250X |
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水平视野范围 |
100mm-2mm |
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外观尺寸 |
1000× 1000 × 1500mm |
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变倍倍率 |
1/2/3/4倍 |
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控制系统 |
总线式控制系统 |