采用紫光或绿光激光器，坚固稳定、光束质量优异、寿命2万小时
Open Cassette 模式，双料盒左进右出，多关节机器手吸附式自动传片。
准直器预定位，根据 FLAT 边和 NOTCH缺口进行自动定位，精度为小于100um
配置 Laser Sensor，具备 Mapping 功能，确保 Cassette 中每片晶圆的可靠取放及预定位，具备完善的检测、报警、保护功能。
光学系统采用 DOE 光学整形专利技术，配合进口远心平场 F-Theta 透镜，具有焦点细、焦深长等优点，可显著改善激光标刻的深度不均、交叉点打穿等问题。
功率监测，整机自检功能、全自动与半自动切换。
Load port、Pre-Aligner 分工位工作，并配置垂直 FFU 系统和激光粉尘净化吸附系统，满足晶圆净化工作环境要求
晶圆面功率监测（可选）
OCR检测功能（可选）
