全板级等离子刻蚀设备TPE-600P

泰研TPE-600P板级等离子蚀刻机可高效完成板级产品的清洗、表面改质、活化、粗化、除胶及微刻蚀等工艺。设备采用模块化结构，核心组件包括高稳定性真空腔体、多通道气体精准配比系统以及高效真空抽气系统，确保工艺过程稳定可控。兼容EMC、ABF、PET、PI等有机基材，以及玻璃、陶瓷、SiO2、SiC、硅片等无机材料，最大可处理600×600mm尺寸的PCB、IC载板及先进封装基板。

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产品应用

EMC 干刻蚀

等离子除胶

Si、SiC、ABF、金属微刻蚀

晶圆等离子体清洗

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规格参数

项目	内容	项目	内容
射频电源	13.56MHz，1000W	供电电源	380V/30A/50Hz（3P5W）
真空泵	干泵	设备整机功率	≤1000W
清洗产品尺寸	长 160-300mm，宽 25-78mm，厚度 0.1-2mm	压缩空气	0.4-0.6MPa
轨道数量	4 个	制程气体	标配 Ar，1 路工艺气体
UPH	根据客户工件材质、清洗时间、真空程度等决定	管路排气	厂务排气
清洗效果	水滴角测试≤30°（以引线框架为例）	设备占地面积	LW: 2000mm2000mm（机器与墙之间需留出 400mm 的距离来放置真空泵、排气管道等）